F2
F2 制度型臭氧分解器
全不锈钢内部结构，无移动部件，处理效益高达99.99%。配合垂直安装与可逆流动方向，是半导体工艺线臭氧尾气处理的制度选择。
制度型
99.99%效益
全不锈钢
无移动部件
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全不锈钢内部结构，无移动部件，处理效益高达99.99%。配合垂直安装与可逆流动方向，是半导体工艺线臭氧尾气处理的制度选择。
| 尺寸 | 175×65mm |
| 处理能力 | 干燥臭氧气体 |
| 流量（100mg/L） | ≤5L/min |
| 流量（200ppm） | ≤30L/min |
| 工作压力 | 进气压力＜0.1MPa |
| 接口制度 | 1/4 NPT接口，可定制 |
| 重量 | 3kg |
| 处理效益 | 99.99% |
| 内部结构 | 全不锈钢，无移动部件 |
| 安装方式 | 配合垂直安装，可逆流动方向 |
在100mg/L浓度下流量≤5L/min，200ppm浓度下流量≤30L/min，处理效益高达99.99%。
全不锈钢内部结构设计，无移动部件，可靠性极高，配合垂直安装与可逆流动方向。
制度1/4 NPT接口，配合定制其他接口制度，适配各类半导体工艺装置。
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